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光譜共焦測量系統

光譜共焦測量系統

通過光學檢測實現質量控制

單點緊湊型光學傳感器
半導體和一般微電子領域的晶圓測量
機械或光學部件的測量和在線控制
測量和控制玻璃或塑料薄膜的厚度

概述

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我們的新型光譜共焦傳感器可實現高精度無接觸距離和厚度測量。因此,非常適合用于位置和尺寸確定(如微電子元件)、形貌、輪廓等應用,以及粗糙度測量(如工具表面)以及玻璃或塑料涂層的厚度測量。


光譜共焦在狹小空間亦具有很大的靈活性。緊湊的控制器和光學探頭通過光纖連接。這使得它可以單獨將光學探頭與控制器分開。此外,探頭不包含任何影響測量準確性的移動部件或發熱電子元件。


由于其緊湊的尺寸和經濟的價格,光譜共焦是傳統激光三角測量傳感器的理想替代品。

規格表


VAS 500VIS 600VIS 4KVIS 10K
測量范圍500 μm600 μm4 mm10 mm
工作距離 1)12.7±0.5 mm6.5 mm37.5 ± 0.9 mm69 ± 1.7 mm
厚度測量范圍 2)最大0.75 mm最大900 μm最大 6mm最大 15mm
軸向分辨率20 nm3 nm180 nm400 nm
線性精度170 nm198 nm1.4 μm4 μm
橫向分辨率2.5 μm2 μm4 μm16 μm
測量角度 3)90°±45°90°±30°90°± 20°90°± 14°
重量250 g71 g162 g209 g

備注:

1) 光學探頭底部到測試量程中間

2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上

3) 大角度偏轉時精度降低

所列數據為典型使用環境下得出,在不同環境條件下可能不同。

特色

高效性

性價比高的解決方案

最先進的光譜共焦技術

所有表面的測量

同軸測量,無陰影效應


多樣性

易于集成

光學探頭和控制器獨立

免維護,耐用

占用空間少


用戶友好&安全

對溫度和污染不敏感

重量輕

低能耗

應用

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